플라즈마 인자가 유기실리콘 박막 증착에 미치는 영향 연구

  • 장봉철 (한양대학교 물리학과) ;
  • 김곤호 (서울대학교 원자핵공학과) ;
  • 민경호 (충주대학교 고분자공학과) ;
  • 김성룡 (충주대학교 고분자공학과)
  • 발행 : 2004.02.11