고경도 전도성 비정질 카본 박막의 구조 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 명현식 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 박용섭 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 홍병유 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
  • 한전건 (성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술 연구센터)
  • 발행 : 2004.02.11