유도 결합형 플라즈마를 이용한 $BCl_{3}/Cl_{2}$/Ar gas의 ZnO 박막의 식각 특성

• 나선웅 (성균관대학교 재료공학과, CAPST) ;
• 이영식 (성균관대학교 재료공학과, CAPST) ;
• 정성훈 (성균관대학교 화학과) ;
• 부진효 (성균관대학교 화학과) ;
• 이내응 (성균관대학교 재료공학과, CAPST)

• Na, Seon-Ung ;
• Lee, Yeong-Sik ;
• Jeong, Seong-Hun ;
• Bu, Jin-Hyo ;
• Lee, Nae-Eung

• 발행 : 2004.02.11

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