미세유동채널 제작을 위한 Pyrex Glass (borofloat33)의 플라즈마 식각공정 연구

• 박정호 (성균관대학교 재료공학과 및 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 김수홍 (성균관대학교 재료공학과 및 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 이내응 (성균관대학교 재료공학과 및 플라즈마 응용 표면기술 연구센터) ;
• 박효덕 (한국 전자부품연구원)

• Park, Jeong-Ho ;
• Kim, Su-Hong ;
• Lee, Nae-Eung ;
• Park, Hyo-Deok

• 발행 : 2004.02.11

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