Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

($O_{2}$와 Ar의 축전 결합 플라즈마에서 전자와 이온 거동에 관한 연구)

  • 서형탁 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2004.02.11
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Abstract

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