LIF와 컷오프탐침을 이용한 CF2 라디칼 밀도와 플라즈마 변수의 진단 및 상관관계 연구

  • 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 유용심 (레이저계측) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • 발행 : 2004.02.11