Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Low Angle Forward Reflected Neutral Beam Etching System을 이용한 High Flux, Low Energy 중성빔의 형성

  • 박병재 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이도행 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2004.02.11
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