Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2004.02a
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- Pages.119-119
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- 2004
($SF_{6}$ 유도결합형 플라즈마를 이용한 6H-SiC와 GaN의 식각 End-point 측정에 관한 연구)
- Published : 2004.02.11
Abstract
Keywords