Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Chemical Mechanical Polishing 공정에 관한 원자단위 반응 모델링

  • 송기오 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 강정원 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 변기량 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 최원영 (중앙대학교 전자전기공학부) ;
  • 황호정 (중앙대학교 전자전기공학부)
  • Published : 2004.02.11
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