Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

flexible 폴리이미드 기판위에 SU-8과 전기도금을 이용한 Micro-scale의 구리 배선형성 공정

  • 조수현 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김수홍 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 남윤우 (삼성종합기술원)
  • Published : 2004.02.11
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Abstract

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