기저전극의 종류, 열처리 방법 및 온도에 따른 inter-diffusion 특성 연구

• 조채룡 (한국기초과학지원연구원 부산분소) ;
• 우성오 (부산대학교 물리학과) ;
• 김종필 (한국기초과학지원연구원 부산분소) ;
• 황재열 (한국기초과학지원연구원 부산분소) ;
• 정세영 (부산대학교 나노과학과)

• Jo, Chae-Ryong ;
• U, Seong-O ;
• Kim, Jong-Pil ;
• Hwang, Jae-Yeol ;
• Jeong, Se-Yeong

• 발행 : 2004.02.11

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