Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구

  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 안봉영 (한국표준과학연구원 스마트계측) ;
  • 김정형 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2004.02.11
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Abstract

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