대한설비공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the SAREK Conference)

대한설비공학회 (The Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea)
권호 표지

Thermal CVD 반응로 내부의 성장 온도 변화에 따른 기판 주위에서의 열$\cdot$유동장에 대한 수치해석적 연구

Numerical Analysis for Thermal and Flow Field around Substrate of Thermal CVD Chamber with Variation of Grown Temperature

  • 김윤호 (서울시립대학교 기계정보공학과) ;
  • 이영석 (국립순천대학교 화학공학과) ;
  • 리광훈 (서울시립대학교 기계정보공학과)
  • Kim Yun Ho (Department of Mechanical & Information Engineering, University of Seoul) ;
  • Lee Young Seok (Department of Chemical Engineering, Sunchon National University) ;
  • Rhee Gwang Hoon (Department of Mechanical & Information Engineering, University of Seoul)
  • 발행 : 2004.06.01
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