대한설비공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the SAREK Conference)
- 대한설비공학회 2004년도 하계학술발표 논문집
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- Pages.54-54
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- 2004
공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
Evaluation of a Floating Nozzle Characteristics of Semiconductor Wafer Transportation for Air Levitation System
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문인호
(성균관대학교 기계공학부)
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- 황영규 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 조상준 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
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김동권
((주)신성이엔지 기술연구소)
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- 김종진 ((주)신성이엔지 기술연구소)
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Moon In-ho
(Department of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University)
;
- Hwang Young-kyu (Department of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Cho Sang-joon (Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd) ;
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Kim Dong-kweon
(Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd)
;
- Kim Jong-jin (Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd)
- 발행 : 2004.06.01