Proceedings of the SAREK Conference (대한설비공학회:학술대회논문집)
- 2004.06a
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- Pages.54-54
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- 2004
Evaluation of a Floating Nozzle Characteristics of Semiconductor Wafer Transportation for Air Levitation System
공기부상형 웨이퍼 낱장이송 시스템의 부상 노즐에 따른 특성 평가
- Moon In-ho (Department of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Hwang Young-kyu (Department of Mechanical Engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Cho Sang-joon (Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd) ;
- Kim Dong-kweon (Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd) ;
- Kim Jong-jin (Institute of Technology, Shinsung ENG Co. Ltd)
- 문인호 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 황영규 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 조상준 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
- 김동권 ((주)신성이엔지 기술연구소) ;
- 김종진 ((주)신성이엔지 기술연구소)
- Published : 2004.06.01
Abstract
Keywords