한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 반도체 재료 센서 박막재료 전자세라믹스
- /
- Pages.153-156
- /
- 2004
RF 스퍼터링법으로 제조한 PZT 이종층 박막의 유전 특성
The Dielectric Properties of the PZT Heterolayered Thin Films Prepared by RF Sputtering Method
- Nam, Sung-Pill (Kwangwoon University) ;
- Lee, Sang-Chul (Kwangwoon University) ;
- Bae, Seon-Gi (Inchon University) ;
-
Lee, Young-Hie
(Kwangwoon University)
- 발행 : 2004.04.24
초록
The