한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

방사선 센서 적용을 위한 CdS 소자 제조 및 X선 반응 특성

The fabrication of CdS films and characteristics of x-ray response of CdS films for radiation sensor applications

  • 박지군 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 최장용 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 김경진 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 김소영 (인제대학교 의용공학과 방사선 영상 연구실) ;
  • 이형원 (인제대학교 의료 영상 연구소) ;
  • 남상희 (인제대학교 의료 영상 연구소)
  • Park, Ji-Koon (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Choi, Jang-Yong (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Kim, Kyung-Jin (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Kim, So-Yung (Radiationl Imageing Reserch Center Department of Biomedical Engineering of Inje University) ;
  • Lee, Hyung-Won (Medical Imageing Reserch Center of Inje University) ;
  • Nam, Sang-Hee (Medical Imageing Reserch Center of Inje University)
  • 발행 : 2004.04.24
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

본 논문은 CdS의 소성 온도가 방사선 검출 특성에 미치는 영향을 조사하였다. CdS 센서는 스크린 프린터 방식을 이용해 $40{\mu}m$의 두께로 제조하였다. XRD 와 SEM을 이용하여 형성된 CdS 필름의 구조 및 형상을 분석하였다. 제조된 CdS 센서에 대해 X선 반응 특성을 조사하기 위해 I-V 측정을 수행하였다. 인가 전압에 따른 Dark current, x-ray sensitivity 및 선량에 따른 Linearity을 측정한 결과 CdS 센서가 $450^{\circ}C$이상 소성시 방사선에 대한 우수한 검출 특성을 보였다.

키워드