Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Highly Sensitive Piezoelectric Micro-Bridge Mass Sensor

압전 마이크로 브리지 형 고 감도 질량 감지 소자

  • 신상훈 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 백준규 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 권호준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 박준식 (전자부품 연구원(KETI)) ;
  • 박효덕 (전자부품 연구원(KETI)) ;
  • 이내웅 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 2004.10.01
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Abstract

Keywords