Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Low Index Contrast Planar SiON Waveguides Deposited by PECVD

PECVD 법에 의해 제작된 저굴절률 차이 평판 SiON 광도파로

  • 김용탁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 윤석규 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 윤대호 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2004.10.01
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Abstract

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