한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)

권호 표지

C$_2$F$_6$ 단일 식각가스를 이용한 실리카 광도파로의 식각특성 연구

Inductively Coupled Plasma Etching of Silica Waveguide Using C$_2$F$_6$ Discharges

박철희 (우리로광통신(주)) ;
신양수 (우리로광통신(주)) ;
신동선 (우리로광통신(주)) ;
김덕현 (우리로광통신(주)) ;
이성원 (우리로광통신(주)) ;
김동근 (우리로광통신(주))

발행 : 2004.07.08

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