Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

2004.07a
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Pages.284-285
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2004

Optical Society of Korea (한국광학회)

권호 표지

Inductively Coupled Plasma Etching of Silica Waveguide Using C$_2$F$_6$ Discharges

C$_2$F$_6$ 단일 식각가스를 이용한 실리카 광도파로의 식각특성 연구

박철희 (우리로광통신(주)) ;
신양수 (우리로광통신(주)) ;
신동선 (우리로광통신(주)) ;
김덕현 (우리로광통신(주)) ;
이성원 (우리로광통신(주)) ;
김동근 (우리로광통신(주))

Published : 2004.07.08

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Abstract

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