Optical and Structural Property Change by the Thermal Decomposition of Amorphous PtO$_x$ Films

비정질 PtO$_x$ 박막의 열분해에 따른 특성 변화

  • 김혜진 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) ;
  • 정명애 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) ;
  • 김상협 (한국전자통신연구원 기반기술연구소)
  • Published : 2004.07.08