타원법을 이용한 PtOx 박막의 온도변화에 따른 광특성 조사

Optical property of PtOx film at variation of temperature investigated by using ellipsometry

  • 김창일 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 이학철 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 안성혁 (아주대학교 물리학과) ;
  • 오수기 (아주대학교 물리학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과)
  • 발행 : 2004.07.08