분광타원계측법을 이용한 유기발광디스플레이용 박막의 광물성 측정

Determination of Optical Properties of Thin Films for Organic Light Emitting Display using spectroscopic ellipsometry

  • 조용재 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 김현종 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 이정익 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) ;
  • 제갈원 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 조현모 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 이윤우 (한국표준과학연구원 광기술표준부) ;
  • 오지영 (한국전자통신연구원 기반기술연구소) ;
  • 추혜용 (한국전자통신연구원 기반기술연구소)
  • 발행 : 2004.07.08