Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Study on Direct Wafer Bonding for Fabrication of GaAs-on-Si Wafers for Optical Devices

광소자용 GaAs-on-Si 웨이퍼 제작을 위한 웨이퍼 직접 접합에 관한 연구

  • 박종국 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 김형권 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 김선호 (한국과학기술연구원 광기술연구센터) ;
  • 박진우 (고려대학교 전자컴퓨터공학과) ;
  • 변영태 (한국과학기술연구원 광기술연구센터)
  • Published : 2004.07.08
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Abstract

Keywords