Double layer AR coating for Semiconductor Laser with In-Situ Monitoring dual wavelength ellipsometer

실시간 모니터링이 가능한 두 파장 타원 해석기를 사용하여 반도체 레이저의 두 층 무반사 박막 제작

  • 김상혁 (광주과학기술원 정보통신공학과) ;
  • 김종민 (광주과학기술원 정보통신공학과) ;
  • 박동현 (광주과학기술원 정보통신공학과) ;
  • 김재웅 (광주과학기술원 정보통신공학과) ;
  • 이용탁 (광주과학기술원 정보통신공학과)
  • Published : 2004.07.08