Vibration insensitive on-machine interferometry using single-mode fiber optic diffraction

단일모드 광섬유를 이용한 진동에 둔감한 기상측정 간섭계

  • 김학용 (한국과학기술원 기계공학과) ;
  • 김승우 (한국과학기술원 기계공학과)
  • Published : 2004.07.08