한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

One-Step Wet Etching방법에 의한 Microlens 제작 및 광점 측정

The measurement of optical spot of microlens fabricated by one-step wet etching method

  • 이재광 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀) ;
  • 정희숙 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀) ;
  • 송기봉 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀) ;
  • 조두희 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀) ;
  • 정상돈 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀) ;
  • 정명애 (한국 전자통신 연구원 반도체 원천 기술 연구소 정보저장소자팀)
  • 발행 : 2004.02.12
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