그레이스케일 포토리소그래피를 이용한 회절광학소자의 제작

Fabrication of Diffractive Optical Elements with Grayscale Photolithography

  • 김완진 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
  • 이명복 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
  • 손진승 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
  • 조은형 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
  • 윤찬영 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
  • 박노철 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
  • 박영필 (연세대학교 정보저장기기 연구센터)
  • 발행 : 2004.02.12