한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

RF magnetron sputtering을 이용한 ZnO 박막의 F 도핑 효과

Fluorine doping effect of ZnO film by RF magnetron sputtering

  • 구대영 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 김인호 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터) ;
  • 이인규 (한국항공대학교 재료공학과) ;
  • 이경석 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터) ;
  • 박종극 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터) ;
  • 이택성 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터) ;
  • 백영준 (미래기술 연구센터) ;
  • 정병기 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터) ;
  • 김원목 (한국과학기술연구원 박막재료 연구센터)
  • Ku, Dae-Young (Dept. of Materials Engineering, Hankuk Aviation University) ;
  • Kim, In-Ho (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Lee, In-Kyu (Dept. of Materials Engineering, Hankuk Aviation University) ;
  • Lee, Kyeong-Seok (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Park, Jong-Keuk (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Lee, Taek-Sung (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Baik, Young-Jun (Future Technology Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Cheong, Byung-Ki (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Kim, Won-Mok (Thin Film Materials Research Center, Korea Institute of Science and Technology)
  • 발행 : 2004.07.05
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

RF magnetron sputtering을 이용하여 증착한 투명전도성 ZnO 박막의 F 도핑량에 따른 전기, 구조, 광학적 특성에 대해 고찰하였다. 순수 ZnO와 ZnO : $ZnF_2$(1.3 wt%) 그리고 ZnO : $ZnF_2$(10 wt%) 3개의 타겟들을 2개씩 조합 각각의 rf 파워를 조절하여 co-sputtering 방법으로 $ZnF_2$ wt%를 변화시켜 박막내의 F 도핑량을 조절하였다. 증착된 박막들은 열처리에 따른 물성 변화를 분석하기 위해 $5{\times}10^{-7}$ torr 이하의 진공 분위기에서 $300^{\circ}C$에서 2 시간 동안 열처리하였다. XRD 분석 결과 제작된 모든 ZnO 박막은 (002) 우선 방위 특성을 보였고 F 도핑량 증가에 따라 (101), (110), (100) 방향의 약한 피크들이 나타났으며, 이러한 구조적 특성 변화는 이동도의 변화와 밀접한 관계가 있는 것으로 나타났다. Auger로 박막 내의 F 량을 분석한 결과 최대 5.9 at%의 F이 포함되어 있었으며, 열처리 후 캐리어 농도와 이동도는 증가하였고 최고 $37cm^2/Vs$의 이동도를 나타내었으며, 모든 박막들은 가시광 영역에서 81 % 이상의 투과도를 가졌다.

키워드