한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- Pages.865-868
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- 2004
진공증착에 의해 제조된 열전 박막의 제조 특성
Production Characteristics of Thermoelectric Film Produced by Vacuun Evaporation
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Kim, Bong-Seo
(KERI) ;
- Jeong, Hyun-Uk (KERI) ;
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Park, Su-Dong
(KERI) ;
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Lee, Hee-Woong
(KERI)
- 발행 : 2004.07.05
초록
열 진공 증착법(thermal vacuum evaporation)에 의해 p-형 열전박막을