한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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- Pages.817-820
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- 2004
RF 스퍼터링법에 의한 SBT 커패시터의 열처리 시간 특성
Annealing Time Properties of SBT Capacitors by RF Sputtering method
- 조춘남 (광운대학교) ;
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오용철
(광운대학교) ;
- 김진사 (광운대학교) ;
- 신철기 (광운대학교) ;
- 이동규 (광운대학교) ;
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최운식
(대불대학교) ;
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이성일
(충주대학교) ;
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이준웅
(광운대학교)
- Cho, Choon-Nam (Kwangwoon Uni) ;
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Oh, Yong-Cheul
(Kwangwoon Uni) ;
- Kim, Jin-Sa (Kwangwoon Uni) ;
- Shin, Cheol-Gi (Kwangwoon Uni) ;
- Lee, Dong-Gu (Kwangwoon Uni) ;
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Choi, Woon-Shick
(Daibul Uni) ;
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Lee, Sung-Ill
(Chung Ji Uni) ;
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Lee, Joon-Ung
(Kwangwoon Uni)
- 발행 : 2004.07.05
초록
The