한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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- Pages.522-525
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- 2004
근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구
Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope
- 윤순일 (서강대학교 물리학과) ;
- 나승욱 (서강대학교 물리학과) ;
- 윤영운 (서강대학교 물리학과) ;
- 유현준 (서강대학교 물리학과) ;
- 이영주 (서강대학교 물리학과) ;
- 김현정 (서강대학교 물리학과) ;
- 이기진 (서강대학교 물리학과)
- Yun, Soon-Il ;
- Na, Sung-Wuk ;
- Yun, Young-Wun ;
- You, Hyun-Jun ;
- Lee, Yeong-Joo ;
- Kim, Hyun-Jung ;
- Lee, Kie-Jin
- 발행 : 2004.11.11
초록
ITO thin films
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