Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2004.07a
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- Pages.531-534
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- 2004
Study on depositing oxide films on Ni substrate for superconducting tape
초전도 테이프 제작을 위한 니켈기판상의 산화물 박막증착에 대한 연구
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Kim, Ho-Sup
(Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Shi, Dongqui (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Chung, Jun-Ki (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
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Ha, Hong-Soo
(Korea Electrotechnology Research Institute) ;
-
Ko, Rock-Kil
(Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Choi, Soo-Jeong (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Park, Yu-Mi (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
- Song, Kyu-Jeong (Korea Electrotechnology Research Institute) ;
-
Yeom, Do-Jun
(Korea Advanced Institute Science and Technology) ;
-
Park, Chan
(Korea Electrotechnology Research Institute)
-
김호섭
(한국전기연구원) ;
- ;
- 정준기 (한국전기연구원) ;
-
하홍수
(한국전기연구원) ;
-
고락길
(한국전기연구원) ;
- 최수정 (한국전기연구원) ;
- 박유미 (한국전기연구원) ;
- 송규정 (한국전기연구원) ;
-
염도준
(한국과학기술원) ;
-
박찬
(한국전기연구원)
- Published : 2004.07.05
Abstract
초전도 coated conductor는 보호층/초전도층/완충층/금속기판의 구조를 가지며 완충층은 다층산화물 박막으로 이루어져 있다. 본 연구에서는 니켈 기판의 원자가 초전도층으로 확산 침투하는 것을 방지하는 YSZ(Yttria Stabilized Zirconia) 박막의 증착방법 및 최적조건에 대하여 소개하고자 한다. 금속타겟을 사용하며 산화반응가스로서 수증기를 사용하는 것을 특징으로 하는 DC reactive sputtering을 이용하여 YSZ를 증착하였으며 기판 온도는