한국음향학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference)
- 한국음향학회 2004년도 춘계학술발표대회 논문집 제23권 1호
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- Pages.221-224
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- 2004
진공펌프의 소음 진동 측정을 위한 종합 성능 평가 장치 개발
Development integrated Evaluation System for Measuring Sound and vibration of Dry Pumps
- Ryu Je-Dam (Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
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Cheung Wan-Sup
(Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
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Lim Jong-Yeon
(Center for Vacuum Technology, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
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Hong Dong-Pyo
(Chonbuk National University)
- 발행 : 2004.05.01
초록
드라이 펌프(Dry Pump)는 청결을 요구하는 반도체 생산 공정에 많이 사용하고 있다. 오늘날 반도체 수요의 증가와 함께 드라이 펌프의 수요도 늘어나고 있다. 그에 각 반도체 회사들은 진공 펌프의 선정이 매우 중요한 문제 중 하나로 대두대고 있다. 진공 펌프를 위한 종합 성능 평가 장치의 개발은 이들 회사에서 요구하는 펌프의 성능을 종합적으로 평가함으로써 펌프 선정의 중요한 근거 자료로 사용 할 수 있을 것이다. 본 연구에서 구축한 종합성능 평가 장치는 진공 펌프의 최대 도달 진공도(Ultimate Pressure), 배기속도(Pumping Speed), 전력 소비(Power Consumption), 진동(Vibration) 그리고 음향 파워(Sound Power)등과 같은 종합적인 성능을 한번에 평가 할 수 있다.
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