Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference (한국음향학회:학술대회논문집)

The Acoustical Society of Korea (한국음향학회)
권호 표지

Development of The MFC Control System for Evaluating Noise and Vibration of Vacuum Pump According to Arbitrary Process Change

임의의 공정 변화에 따른 진공펌프의 소음${\cdot}$진동 평가를 위한 MFC 컨트롤 시스템 개발

  • Ryu Jedam (Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Cheung Wansup (Acoustics & Vibration Group, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Lim Jong Yeon (Center for Vacuum Technology, Korea Research Institute of Standards and Science) ;
  • Hong Dongpyo (Chonbuk National University)
  • 류제담 (한국표준과학연구원 음향진동그룹) ;
  • 정완섭 (한국표준과학연구원 음향진동그룹) ;
  • 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 홍동표 (전북대학교)
  • Published : 2004.11.01
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Abstract

진공펌프의 상태를 미리 알고 대처하는 것은 수많은 진공펌프를 사용하는 반도체 회사에게는 경제적인 이익을 준다. 진공펌프의 상태를 파악하기 위해서는 실제 공정에서 많은 실험을 해야만 한다. 하지만 실제 공정에서 실험을 하기에는 많은 제약과 문제점들이 따른다. 이를 해결하기 위해 본 연구는 MFC(Mass Flow Controller)를 이용하여 실제 공정과 유사한 압력조건을 생성할 수 있는 시뮬레이션 시스템을 구축하였다.

Keywords