Fabrication of 4H-SiC Schottky photodiode for UV detector

UV detector를 위한 4H-SiC Schottky Photodiode의 제작

  • 정상용 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 나훈주 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 송호근 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 엄명윤 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 임정혁 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 서한석 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2004.05.14