Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing

STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향

  • 이명윤 (한양대학교 Nano SOI 공정 연구실) ;
  • 강현구 (한양대학교 Nano SOI 공정 연구실) ;
  • ;
  • 박형순 (하이닉스 반도체) ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹 공학과) ;
  • 박재근 (한양대학교 Nano SOI 공정 연구실)
  • Published : 2004.05.14
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Abstract

Keywords