한국전자현미경학회:학술대회논문집

한국현미경학회 (Korean Society of Microscopy)
권호 표지

Dicing Saw 및 FIB Marking을 이용한 준 특정영역에서의 Ion Milling 시료제작기술개발

  • 최근영 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 최진태 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 김호정 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 이순영 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
  • 발행 : 2004.11.01
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