한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

Real time EELS를 이용한 NO gate oxide표준시료에서의 Nitrogen mapping 분석

  • 박태수 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 백태선 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 김종협 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 고중규 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 김호정 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀) ;
  • 이순영 ((주)하이닉스반도체 연구소 분석개발팀)
  • Published : 2004.11.01
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Abstract

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