Evaluation of Spherical Aberration Coefficient ($C_s$) of the Objective Lens and Resolution for the KBSI-HVEM

KBSI-HVEM의 대물렌즈 구면수차계수($C_s$) 및 분해능 평가

  • 김영민 (한국기초과학지원연구원 나노환경연구부 전자현미경팀) ;
  • 정종만 (한국기초과학지원연구원 나노환경연구부 전자현미경팀) ;
  • 김윤중 (한국기초과학지원연구원 나노환경연구부 전자현미경팀)
  • Published : 2004.05.01