Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2004.11a
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- Pages.92-94
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- 2004
A study on the electrical characteristic of Schottky diode fabricated using various metals based on SiC thin film deposited by PECVD
PECVD로 증착된 SiC을 박막의 다양한 금속으로 제작된 SiC Schottky diode 전기적 특성에 따른 연구
- Song, J.H. (Electrical and Electronic Material Lab, Myong Ji University) ;
- Kim, J.W. (Electrical and Electronic Material Lab, Myong Ji University) ;
- Kim, J.G. (Electrical and Electronic Material Lab, Myong Ji University) ;
- Lee, H.Y. (Electrical and Electronic Material Lab, Myong Ji University)
- 송진형 (명지대학교 전기공학과 전기전자재료연구실) ;
- 김정우 (명지대학교 전기공학과 전기전자재료연구실) ;
- 김지균 (명지대학교 전기공학과 전기전자재료연구실) ;
- 이헌용 (명지대학교 전기공학과 전기전자재료연구실)
- Published : 2004.11.05
Abstract
In this investigation, 3C-SiC film deposited
Keywords