Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

폴리머 기판위에 형성된 ZnO 박막의 특성 연구

  • K. J., Suh (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology) ;
  • A., Wakahara (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology) ;
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  • A., Yoshida (Dept. of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology)
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  • 장호정 (단국대학교 전자공학과) ;
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

투명전극용 ZnO 박막을 펄스레이저 증착방법으로 형성한 후 산소압력과 기판온도에 따른 결정학적, 전기적 특성을 조사하였다. $200^{\circ}C$의 기판온도에서 증착한 ZnO 박막은 C축의 0002 방향으로 우선 배향한 결정구조를 보여주었다. 산소 압력이 10 mTorr 일때 반가폭(FWHM)은 $0.34^{\circ}$의 값을 나타내었다. ZnO 박막의 캐리어 농도는 약 $4\times$10^{20}$\textrm{cm}^3$ 으로 산소농도에는 크게 영향을 받지 않았으며, 약 $5\times10^{-4}{\Omega}cm$ 의 저항율을 나타내었다.

Keywords