Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology (한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집)

The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology (한국반도체디스플레이기술학회)
권호 표지

유전체 재료용 Phosphate계 유리-BNT($BaO-Nd_{2}O_{3}-TiO_{2}$)계 세라믹 복합체의 특성

  • 이회관 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 이용수 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 황성건 (단국대학교 신소재공학과) ;
  • 강원호 (단국대학교 신소재공학과)
  • Published : 2004.05.01
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Abstract

본 연구에서는 마이크로파용 유전재료로서 널리 사용되고 있는 BNT($BaO-Nd_{2}O_{3}-TiO_{2}$)계 세라믹스를 기본조성으로 하고, 저융점의 phoshpate계 유리 프릿의 첨가를 통해 LTCC(Low Temperature Cofired Ceramic)에 적용 가능한 유전율을 가진 조성을 개발 하고자, $70P_{2}O_{5}-5B_{2}O_{3}-(25-x)BaO-xNa_{2}O$ 유리를 제조 및 특성을 평가하였다. 또한, BNT계 세라믹스에 glass frit을 5 - 15 wt% 범위에서 첨가하고, $800 - 950^{\circ}C$의 온도범위에서 소결하여 제조된 유리-세라믹 복합체의 소결특성 및 유전특성을 조사하였다.

Keywords