한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology)

한국반도체디스플레이기술학회 (The Korean Society Of Semiconductor & Display Technology)
권호 표지

최적 정합 알고리즘을 사용한 실시간 마킹/표면 비젼검사 시스템 개발

  • 노영동 (호서대학교 전기정보통신공학부) ;
  • 주효남 (호서대학교 디지털디스플레이공학과) ;
  • 김준식 (호서대학교 전기정보통신공학부)
  • 발행 : 2004.05.01
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초록

반도체 소자의 마킹 / 표면 검사에 대한 적응적 reference 데이터 자동 획득 알고리즘과 검사에서의 실시간 정합 알고리즘을 개발하여, 모든 반도체 소자의 마킹 / 표면 검사에 대한 오류를 검출할 수 있는 마킹 / 표면 검사 시스템을 개발한다.

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