Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference (한국대기환경학회:학술대회논문집)

Korean Society for Atmospheric Environment (한국대기환경학회)
권호 표지

A Study on the Emission Characteristics and the Estimation of Emission Factor for Air Pollutants in Semiconductor Manufacturing

반도체 제조공정에서의 대기오염물질 배출특성 및 배출계수 산정에 관한 연구

  • 엄윤성 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 김대곤 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 이은정 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 이석조 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 김정수 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 차준석 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 이대균 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 방선애 (국립환경연구원 대기공학과) ;
  • 홍지형 (국립환경연구원 대기공학과)
  • Published : 2004.11.01
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Abstract

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