대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1924-1926
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- 2004
이온 온도 방정식이 포함된 고밀도 유도결합 플라즈마원 수송 시뮬레이션을 위한 모델 및 경계 조건 비교
Comparion of models and boundary conditions in fluid simulation of high density Inductively Coupled Plasma Sources included ion temperature equation
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Kwon, Deuk-Chul
(Chungbuk National University) ;
- Yu, D.H. (Chungbuk National University) ;
- Lee, J.K. (Chungbuk National University) ;
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Yoon, N.S.
(Chungbuk National University) ;
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Kim, J.H.
(Korea Research Institute of Standards and Science) ;
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Shin, Y.H.
(Korea Research Institute of Standards and Science)
- 발행 : 2004.07.14