대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1691-1693
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- 2004
B 및 Cs 가 이중이온주입된 $Si_3N_4$ 박막의 전해질 용액 중 이온감지특성에 관한 연구
A study on the ion sensing properties of B and Cs coimplanted $Si_3N_4$ thin films
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신백균
(인하대학교 전자전기공학부)
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- 박구범 (유한대학 디지털 전기과) ;
- 육재호 (유한대학 디지털 전기과) ;
- 박종관 (유한대학 정보통신과) ;
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김찬영
(우석대학교 전기전자공학부)
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- 이덕출 (인하대학교 전자전기공학부)
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Sin, Baek-Gyun
(Dept. of Electrical Eng. Inha University)
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- Park, Gu-Beom (Dept. of Electrical Eng. Yuhan College) ;
- Yuk, Jae-Ho (Dept. of Electrical Eng. Yuhan College) ;
- Park, Jong-Gwan (Dept. of Information and Telecommunication Eng. Yuhan College) ;
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Kim, Chan-Yeong
(Dept. of Electrical Eng. Woosuk Univ.)
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- Lee, Deok-Chul (Dept. of Electrical Eng. Inha University)
- 발행 : 2004.07.14
초록
전해질 용액 중에서 내부 이온화산에 의한 드리프트 특성이 거의 없는 장기안정성과 pH 농도 감지 특성이 우수하지만 알칼리 금속 양이온 감지특성이 열악한 silicon nitride 박막의 이온 감지특성을 변화시키기위하여, 저온화학기상증착법(LPCVD)으로 제작된 silicon nitride 박막에 B 및 Cs를 이중이온주입시켰다. 이온수입이 되지 않은 silicon nitride 박막과 B 및 Cs가 이중이온주입된 박막의 전해질 용액 중 pH, pNa, pK, pRb 및 pCs 농도 감지특성을 조사하여 비교하였다. 이중이온주입된 샘플은 이온주입이 되지 않은 샘플에 비해 그 전해질 용액 중 pH 농도 감지도가 현저히 감소한 반면, 전해질 용액 중 알카리 금속이온농도 감지도는 이온주입되지 않은 샘풀에 비해 현저히 증가하는 특성을 보였다.
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