자성 MEMS 용 이원계 CoNi 필름 스트레스의 Anions 타입에 대한 의존성

Dependence of Film Stresses on Different Anions in Binary CoNi Electrodeposits for Magnetic-MEMS Applications

  • 박경순 (한밭대학교 응용소재공학과) ;
  • 송락영 (한밭대학교 공업화학과) ;
  • 고장면 (한밭대학교 공업화학과) ;
  • 박덕용 (한밭대학교 응용소재공학과)
  • 발행 : 2004.10.01