자외선 및 펨토초 레이저를 이용한 근접장 패터닝

NSOM lithography using UV and femtosecond laser

  • 장원석 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 최무진 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 김재구 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노공정그룹) ;
  • 황경현 (한국기계연구원 나노공정그룹)
  • 발행 : 2004.10.01